低濃度的臭氧可消毒，臭氧超标則對身體有危害，強烈刺激人的呼吸道，出現咽喉腫痛、胸悶咳嗽、引發支氣管炎和肺氣腫等不良情況。臭氧發生器本體、空氣準備設備、臭氧投加設備、臭氧混合設備、臭氧反應設備、臭氧尾氣分解設備，某些時候還需要增加活性炭過濾器作為臭氧吸附脫除設備。
臭氧，化學式Ｏ３，式量４７．９９８，氧氣的一種同素異形體。有魚腥氣味的淡藍色氣體。臭氧有強氧化性，是比氧氣更強的氧化劑，可在較低溫度下發生氧化反應，如能将銀氧化成過氧化銀，将硫化鉛氧化成硫酸鉛、跟碘化鉀反應生成碘。松節油、煤氣等在臭氧中能自燃。有水存在時臭氧是一種強力漂白劑。跟不飽和有機化合物在低溫下也容易生成臭氧化物。用作強氧化劑，漂白劑、皮毛脫臭劑、空氣淨化劑，消毒殺菌劑，飲用水的消毒脫臭。在化工生産中可用臭氧代替許多催化氧化或高溫氧化，簡化生産工藝并提高生産率。液态臭氧還可用作火箭燃料的氧化劑。存在于大氣中，靠近地球表面濃度為０．００１～０．０３ｐｐｍ，是由大氣中氧氣吸收了太陽的波長小于１８５納米紫外線後生成的，此臭氧層可吸收太陽光中對人體有害的短波（３０納米以下）光線，防止這種短波光線射到地面，使人類免受紫外線的傷害。
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