DUV是深紫外線（Deep Ultraviolet Lithography），EUV是極深紫外線（Extreme Ultraviolet Lithography）。從制程範圍來看，DUV基本上隻能做到25nm，Intel憑借雙工作台的模式做到了10nm，但是卻無法達到10nm以下。隻有EUV能滿足10nm以下的晶圓制造，并且還可以向5nm、3nm繼續延伸。
duv和euv技術區别
更新时间：2025-08-17 08:09:48
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