1、壓阻式傳感器
壓阻式傳感器是通過擴散工藝将四個半導體應變電阻制作在同一矽片上，利用半導體材料的壓阻效應制成的傳感器。它由于工藝一緻性好，靈敏度相等，因此漂移抵消，遲滞、蠕變非常小，動态響應快，測量精度高、穩定性好、溫度範圍寬、易小型化、能批量生産和使用方便。
2、壓阻式壓力傳感器
固态壓阻式壓力傳感器的結構傳感器矽膜片兩邊有兩個壓力腔。一個是和被測壓力相連接的高壓腔，另一個是低壓腔，和大氣相通。
3、壓電式傳感器
壓電式傳感器是基于某些材料受力後在其表面産生電荷的壓電效應為轉換原理的傳感器。它是一種典型的有源傳感器，又稱自發電式傳感器。它具有體積小，重量輕，頻率寬，靈敏度高，結構簡單，工作可靠等特點。
4、壓電式加速度傳感器
當傳感器感受振動時，質量塊感受與傳感器基座相同的振動，并受到與加速度方向相反的慣性力的作用。這樣，質量塊就有一正比于加速度的交變力作用在壓電片上。由于壓電片壓電效應，兩個表面上就産生交變電荷，當振動頻率遠低于傳感器的固有頻率時，傳感器的輸出電荷（電壓）與作用力成正比，亦即與試件的加速度成正比。
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