1、用途。
光刻機是芯片制造的核心設備之一，按照用途可以分為好幾種：有用于生産芯片的光刻機；有用于封裝的光刻機；還有用于LED制造領域的投影光刻機。
用于生産芯片的光刻機是中國在半導體設備制造上最大的短闆，國内晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口，本次廈門企業從荷蘭進口的光刻機就是用于芯片生産的設備。
2、工作原理。
在加工芯片的過程中，光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段，将光束透射過畫着線路圖的掩模，經物鏡補償各種光學誤差，将線路圖成比例縮小後映射到矽片上，然後使用化學方法顯影，得到刻在矽片上的電路圖。
一般的光刻工藝要經曆矽片表面清洗烘幹、塗底、旋塗光刻膠、軟烘、對準曝光、後烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序。經過一次光刻的芯片可以繼續塗膠、曝光。越複雜的芯片，線路圖的層數越多，也需要更精密的曝光控制過程。
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