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光刻機用來幹嘛
光刻機用來幹嘛
更新时间:2025-07-11 17:52:27

  1、用途。

  光刻機是芯片制造的核心設備之一,按照用途可以分為好幾種:有用于生産芯片的光刻機;有用于封裝的光刻機;還有用于LED制造領域的投影光刻機。

  用于生産芯片的光刻機是中國在半導體設備制造上最大的短闆,國内晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口,本次廈門企業從荷蘭進口的光刻機就是用于芯片生産的設備。

  2、工作原理。

  在加工芯片的過程中,光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段,将光束透射過畫着線路圖的掩模,經物鏡補償各種光學誤差,将線路圖成比例縮小後映射到矽片上,然後使用化學方法顯影,得到刻在矽片上的電路圖。

  一般的光刻工藝要經曆矽片表面清洗烘幹、塗底、旋塗光刻膠、軟烘、對準曝光、後烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序。經過一次光刻的芯片可以繼續塗膠、曝光。越複雜的芯片,線路圖的層數越多,也需要更精密的曝光控制過程。

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