掃描電子顯微鏡與金相顯微鏡的幾點不同-tft每日頭條

掃描電子顯微鏡與金相顯微鏡的幾點不同（掃描電子顯微鏡與金相顯微鏡的幾點不同）1

在材料分析試驗中我們經常會用到掃描電鏡和金相顯微鏡，這兩種設備在使用中有何不同？天縱檢測（SKYALBS）這裡總結了部分資料，分享給大家。

金相顯微鏡(metallurgical microscope)是用入射照明來觀察金屬試樣表面(金相組織)的顯微鏡，它是将光學顯微鏡技術、光電轉換技術、計算機圖像處理技術完美地結合在一起而開發研制成的高科技産品，可以在計算機上很方便地觀察金相圖像，從而對金相圖譜進行分析，評級等以及對圖片進行輸出、打印。

掃描電鏡（SEM）是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。主要是利用二次電子信号成像來觀察樣品的表面形态，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用産生各種效應，其中主要是樣品的二次電子發射。二次電子能夠産生樣品表面放大的形貌像，這個像是在樣品被掃描時按時序建立起來的，即使用逐點成像的方法獲得放大像。

兩種顯微鏡存的區别，主要有以下幾方面：

一、光源不同：金相顯微鏡采用可見光作為光源，掃描電鏡采用電子束作為光源成像。

二、原理不同：金相顯微鏡利用幾何光學成像原理進行成像，掃描電鏡利用高能量電子束轟擊樣品表面，激發出樣品表面的各種物理信号，再利用不同的信号探測器接受物理信号轉換成圖像信息。

三、分辨率不同：金相顯微鏡因為光的幹涉與衍射作用，分辨率隻能局限于0.2-0.5um之間。掃描電鏡因為采用電子束作為光源，其分辨率可達到1-3nm之間，因此金相顯微鏡的組織觀察屬于微米級分析，掃描電鏡的組織觀測屬于納米級分析。

四、景深不同：一般金相顯微鏡的景深在2-3um之間，因此對樣品的表面光滑程度具有極高的要求，所以其的制樣過程相對比較複雜。而掃描電鏡則有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構。

總的說來，光學顯微鏡主要用于光滑表面的微米級組織觀察與測量，因為采用可見光作為光源因此不僅能觀察樣品表層組織而且在表層以下的一定範圍内的組織同樣也可被觀察到，并且光學顯微鏡對于色彩的識别非常敏感和準确。電子顯微鏡主要用于納米級的樣品表面形貌觀測，因為掃描電鏡是依靠物理信号的強度來區分組織信息的，因此掃描電鏡的圖像都是黑白的，對于彩色圖像的識别掃描電鏡顯得無能為力。但掃描電鏡不僅可以觀察樣品表面的組織形貌，還可以通過使用能譜分析儀等附件設備，用于元素的定性和定量分析，可用做分析樣品微區的化學成分等信息。