蘇州智能浸滲設備産品介紹-tft每日頭條

歲末年初，喜訊傳來。坐落于青浦區華科路的上海鉑世光半導體科技有限公司實現了高端裝備領域重大技術突破，公司自主研發生産的生産線上專用MPCVD（微波等離子化學氣相沉積技術）設備正式下線并投入使用，标志着鉑世光成為國内首家打破歐美技術壟斷的企業。

蘇州智能浸滲設備産品介紹（青浦這家企業成功研發生産線上專用高端MPCVD設備）1

MPCVD微波等離子化學氣相沉積技術，是通過微波激發反應氣體成等離子體狀态，提高化學反應速率，降低反應溫度，可以在很大的真空範圍内形成穩定的球形等離子體，最大限度地減少了因氣流、氣壓、氣體成分、電壓等因素波動引起的等離子體狀态的變化，從而确保單晶材料生長的持續性，為合成高質量的大尺寸單晶金剛石提供有力保證。适合制備面積大、均勻性好、純度高、結晶形态好的高質量硬質薄膜和晶體。

MPCVD技術是目前國内外制備單晶金剛石應用最廣泛的方法。因其能夠制備大面積、高質量的金剛石，而且安全系數高、制備過程無污染，MPCVD技術被認為是未來制備人造金剛石最理想的方法。MPCVD技術目前在國外已經得到了很好的應用，市場上的主流公司包括Element 6，IIa Technologies、Diamond Foundry等，都在使用MPCVD法工業化生産單晶金剛石。然而，由于工業化生産單晶金剛石所需要的MPCVD設備對設備性能要求高，開發難度大，尤其是生産線批量生産單晶金剛石所用的多台套MPCVD設備之間的控制和穩定性要求極高，導緻國内涉足這一領域的廠家并不多，再加上其技術研發成本和設備制造的投資較大，目前國内市場還處于被歐美日廠商壟斷的狀态。

經曆了漫長的科研過程，鉑世光終于趕在2020年末實現了國内MPCVD設備在這一領域零的突破。這是鉑世光公司的巨大成功，也是國内MPCVD技術邁向新高度的一大步。這一突破不僅是青浦地區近年來科技實力不斷攀升的真實寫照，更是為青浦帶來了一大批新的就業機會，為地區的持續發展帶來了源源不斷的活力。

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作為新世紀的超級材料，金剛石應用廣泛，不僅在切削加工領域擁有“工業牙齒”的美譽，航空航天、國防軍工、5G半導體、醫療等衆多領域均不乏它的身影。鉑世光的突破為國内金剛石的應用研究打下了堅實基礎，也在“科技強國”的道路上留下了濃墨重彩的一筆！

記者：魏阜龍

資料：青浦工業園區

實習編輯：孫旌豪

責編：吳怡靜